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請自行調高解析度

❒ 閘極長度(Gate length)

電子元件的「閘極長度(Gate length)」又稱為「線寬」，線寬大於1μm(微米)的製程技術稱為「微米製程(Micro process)」，如＜圖一＞所示，線寬小於1μm的製程技術稱為「次微米製程(Sub-micro process)」。人類的野心不止於此，製程技術將會朝向奈米(nm)的大小演進，線寬小於0.1μm(相當於100nm)的製程技術稱為「奈米製程(Nano process)」或「奈米科技(Nanotechnology)」。過去商業化量產的製程線寬為0.25μm、0.18μm、0.13μm屬於次微米製程，後來慢慢演進到90nm、65nm、45nm、22nm、20nm、16nm屬於奈米製程，台積電更將研發下一代10nm的製程技術，換句話說，目前的積體電路產業應該要改名為「奈米科技產業」了。知識力www.ansforce.com。

圖一　材料的尺寸與名稱。

材料的尺寸與名稱如＜圖一＞所示，圖中每一個刻度相差10倍，毫米(mm)、微米(μm)與奈米(nm)各自相差三個刻度，因此相差1000倍，而且0.1μm(微米)等於100nm(奈米)，使用高科技製程所製作出來的產品，其線寬或尺寸小於100nm時，我們將「製作的技術」與「生產的產品」泛稱為「奈米科技(Nanotechnology)」，這是奈米科技的基本定義，請大家務必牢記。知識力www.ansforce.com。

❒ 常見的材料尺寸

一般人類頭髮的直徑(頭髮的粗細)大約100μm，換句話說，目前半導體製程所能製造的電子元件線寬(大約0.1μm)只有人類頭髮粗細的千分之一而已，其困難度由此可見，這就是為什麼它被稱為高科技產業的原因了。此外，細菌的尺寸大約1μm，病毒的尺寸大約100nm，這麼小的東西使用國小生物課的「光學顯微鏡」是看不到的，必須使用解析度更高的「電子顯微鏡」才行，如何觀察如此微小的東西是目前奈米科技發展的重要方向，這個部分將在＜奈米科技產業＞中詳細介紹，一顆原子的大小約為0.1nm，如果人類可以製造小於1nm的產品，則代表人類可以精確地控制一個或數個原子，那是奈米科技的終極目標。

【注意】
➤微米製程：泛指元件的線寬「大於」1μm以上。
➤次微米製程：泛指元件的線寬「介於」1μm到0.1μm之間。
➤奈米科技：泛指元件的線寬「小於」0.1μm(相當於100nm)以下。

【延伸閱讀】其他詳細內容請參考「積體電路與微機電產業，全華圖書公司」。＜我要買書＞