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高電子移動速度電晶體(HEMT)

❐ 高電子移動速度電晶體(HEMT)的構造
金屬半導體場效電晶體(MESFET)是很好的高頻放大器元件,但是仍然有許多缺點,例如:在砷化鎵中摻雜其他原子形成N型的區域雖然可以增加導電性,但是摻雜是將雜質原子加入原有的單晶半導體中,必定會破壞原有的單晶結構而使原子排列變混亂,造成電子移動速度變慢;但是如果不摻雜則沒有足夠的電子,導電性不夠,兩者互相矛盾,因此科學家在導通電子的區域製作兩層的結構,發展出「高電子移動速度電晶體(HEMT:High Electron Mobility Transistor)」,如<圖一>所示:
➤下層無摻雜:在砷化鎵基板上成長「無摻雜」的砷化鋁鎵磊晶,做為「電子通道(Electron channel)」,由於沒有摻雜因此單晶結構原子排列非常整齊,電子可以快速移動。
➤上層有摻雜:在無摻雜的砷化鋁鎵磊晶上面再摻雜其他原子形成N型的砷化鋁鎵磊晶,摻雜後多出許多電子,可以增加導電性。
圖一 高電子移動速度電晶體(HEMT)的構造示意圖。
由<圖一>中可以看出,這樣的結構使電子在上層N型的砷化鋁鎵磊晶產生(有摻雜才容易產生電子),然後在下層無摻雜的砷化鋁鎵磊晶移動,因為無摻雜的砷化鋁鎵單晶結構沒有被破壞,電子可以快速移動,故稱為「高電子移動速度」。目前HEMT已經成功開發成商品,並且應用在高頻積體電路中,但是由於構造包括兩層磊晶,製造程序較為複雜,因此成本較高。
❐ HEMT開關(HEMT switch)
HEMT開關的工作原理與MES相同,因為砷化鎵的製程技術沒有矽晶圓成熟,所以元件尺寸比較大,成本也比較高,但是砷化鎵的原子振動頻率比矽高,所以適合用來製作高頻積體電路。
圖二 HEMT開關的工作原理示意圖。
❐ HEMT放大器(HEMT amplifier)
使用HEMT除了可以做為開關,也可以做為放大器,其工作原理如<圖三>所示,以閘極(Gate)做為共用端,將「較小的電壓或電流(小訊號)」輸入源極(Source),由於HEMT的元件特性會使訊號放大,轉變成「較大的電壓或電流(大訊號)」由汲極(Drain)輸出,這就是「類比積體電路」工作的基本原理。
使用HEMT放大器來製作類比積體電路,例如:射頻積體電路(RF IC:Radio Frequency IC)、功率放大器(PA:Power Amplifier)、低雜訊放大器(LNA:Low Noise Amplifier)等,則工作頻率可以達到10GHz以上,而且穩定性高、雜訊低,目前廣泛的應用在高頻無線通訊設備中,例如:行動電話、衛星通訊,因此HEMT大多做為「高頻放大器」使用。
圖三 HEMT放大器的工作原理示意圖。
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【延伸閱讀】其他詳細內容請參考「積體電路與微機電產業,全華圖書公司」。<我要買書>