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❒ 旋轉塗佈的製作流程
旋轉塗佈在成長薄膜的過程中沒有化學反應發生，由於不需要真空，而且薄膜可以大量快速地在基板上塗佈，成本極低適合工廠大量生產，但是塗佈的材料必須能夠溶解在化學溶劑中，而且塗佈的薄膜厚度較厚，通常用來塗佈積體電路(IC)製作時所使用的光阻，或是製作有機光波導元件等。
以塗佈壓克力塑膠非晶薄膜為例，如＜圖一＞所示，其製作步驟如下：
1.將矽晶圓放入旋轉塗佈機內，做為基板(Substrate)。
2.將壓克力塑膠溶解在有機溶劑(例如：丙酮)內，再噴灑在矽晶圓表面。
3.使矽晶圓高速旋轉，讓壓克力塑膠液體在矽晶圓表面噴散開，使液體均勻分布，並且使液體內的溶劑丙酮揮發，形成塑膠非晶薄膜。知識力www.ansforce.com。

圖一　旋轉塗佈法(Spin coating)系統示意圖。

❒ 旋轉塗佈的原理

旋轉塗佈的原理與塗立可白或塗油漆相同，立可白是將鈦白粉(二氧化鈦粉末)分散在有機溶劑中(通常使用甲基環己烷)，大家可以拿起手邊的Pentel修正液看看它的成分就會明白，如同奶粉分散在水中一樣，當我們將立可白塗在紙上時會用氣吹乾，使有機溶劑揮發，在紙上留下一層白色的鈦白粉；油漆是將白色的鈦白粉(或其他顏色的粉末)分散在有機溶劑中(通常使用甲苯)，當我們將油漆塗在金屬上時會用氣吹乾，使有機溶劑揮發，在金屬上留下一層白色的鈦白粉(或其他顏色的粉末)；旋轉塗佈則是將有機化合物(例如：塑膠、光阻)溶解在有機溶劑中(例如：丙酮)，並將塑膠液體噴灑在矽晶圓上，再使矽晶圓高速旋轉，使液體在矽晶圓表面均勻分布，同時會使液體內的溶劑揮發，而形成塑膠非晶薄膜。

【生活常識】油漆和水泥漆
使用油性的溶劑稱為「油漆」，使用水性的溶劑稱為「水泥漆」：
➤油性的溶劑：使用無法與水互溶的苯類或烷類等化學物質做為溶劑，揮發性比較高，塗佈後比較快乾，我們平常用的奇異筆或鐵樂士噴漆就是用油性溶劑，因為比較快乾所以附著力比較好，無法用板擦擦掉。
➤水性的溶劑：使用可以與水互溶的醇類或醚類等化學物質做為溶劑，揮發性比較低，塗佈後比較慢乾，我們平常用的白板筆或水泥漆就是用水性溶劑，因為比較慢乾所以附著力比較差，白板筆可以用板擦擦掉。知識力www.ansforce.com。

【延伸閱讀】其他詳細內容請參考「積體電路與微機電產業，全華圖書公司」。＜我要買書＞