電子束蒸鍍(Electron beam evaporation) Hightech 2017-12-13 20:09 A201610090010 進階 點閱 2697 留言 0 E 0 T 0 免費 進階 點閱 2697 留言 0 E 0 T 0 電子束蒸鍍成長薄膜的過程中沒有化學反應發生,所以屬於物理氣相沉積(PVD),由於只需要高真空,而且蒸鍍的薄膜可以大量快速地在基板上沉積,成本較低適合工廠大量生產,這種技術目前比較常用在光學元件的薄膜製程。