金屬－氧化物－半導體場效電晶體(MOSFET)簡稱「MOS」，一般使用矽晶圓製作，可以應用在數位或類比積體電路，由於矽晶圓很容易以「高溫氧化」的方式在表面成長氧化物，因此成本較低而且製程穩定，是目前最常使用的一種主動元件。