潔淨室又稱「無塵室」，在晶圓廠中俗稱「Fab」，指的就是「製造廠(Fabrication)」的意思，潔淨室是專門建造用來隔絕灰塵的空間，由於電晶體本身的線路非常微小，只要一顆很小的灰塵掉在晶圓上，就會造成電晶體短路燒毀，因此必須在非常乾淨的地方生產。