將光罩上的圖形縮小之後轉移到矽晶圓上所使用的方法稱為「黃光微影(Photolithography)」，因此所使用的機台稱為「光學曝光機(Photolithographer)」，這是晶圓廠裡最貴的機台，超過一台F22戰鬥機的價格，讓我們來看看這麼貴的機器到底是在做什麼的吧！