利用高溫使摻雜原子在矽晶圓中移動，最後分佈在適當的區域，形成我們所需要的結構，稱為「高溫擴散摻雜(Thermal diffusion)」，這裡我們來看看早期製程線寬較大時最常用的高溫擴散摻雜是如何進行的吧！