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離子佈植摻雜(Ion implantation)
Hightech  2017-12-14 07:13  201609210019 
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將某一種原子直接射入矽晶圓,使摻雜原子分佈在矽晶圓中稱為「離子佈植(Ion implantation)」,類似將子彈直接打到牆壁裡一樣。被植入矽晶圓的雜質原子就可以形成N型或P型兩種不同性質的半導體,這是目前先進製程使用的方式。