以化學藥品與材料產生化學反應，將材料中不需要的部分溶解去除稱為「蝕刻(Etching)」，使用的方法有「濕式蝕刻」與「乾式蝕刻」兩種，這裡我們主要介紹目前先進製程使用的乾式蝕刻。