薄膜成長技術主要可以分為單晶、多晶、非晶等三種，包括：分子束磊晶(MBE)、有機金屬化學氣相沉積 (MOCVD)、加熱蒸鍍、電子束蒸鍍、濺鍍、電漿化學氣相沉積(PECVD)、高溫氧化、旋轉塗佈等，細節請參考＜基礎科學原理＞。