利用壓電材料「外加電壓會改變材料長度」的原理(壓電效應)來製作的微致動器稱為「壓電微致動器(Piezoelectric microactuator)」，由於它的出力大，反應速度快，可以很精確地控制伸長或縮短1nm(奈米)的位移，因此在奈米科技上有許多的創新應用。