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微機電系統簡介
Hightech  2017-10-07 12:43  A20161127001 
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利用黃光微影、摻雜技術、蝕刻技術、薄膜成長等半導體的製程技術,製作微小的機械元件、光學元件與電子元件,並且將所有元件整合成單一的系統製作在矽晶片上,稱為「微機電系統(MEMS:Micro Electro Mechanical Systems)」,歐洲將這種技術稱為「微系統技術(MST:Micro Systems Technology)」。